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精密運(yùn)動(dòng)平臺(tái)定做廠家

Wafer & Precision Instrument Motion Stage

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  • 大理石運(yùn)動(dòng)平臺(tái)
  • 大理石三軸運(yùn)動(dòng)平臺(tái)

大理石三軸運(yùn)動(dòng)平臺(tái)

  • 一般環(huán)境使用
  • 高精密大理石三軸運(yùn)動(dòng)平臺(tái),XY軸采用標(biāo)準(zhǔn)直線電機(jī),具有較高的組裝靈活性及較高的性價(jià)比;Z軸采用高精密研磨滾珠絲杠,提供較大的垂直負(fù)載能力和足夠的定位精度,支持光柵尺和控制系統(tǒng)非標(biāo)定制。用于各類精密激光焊接、切割、檢測(cè)和測(cè)量等應(yīng)用場(chǎng)景。

  • 產(chǎn)品參數(shù)

    重復(fù)定位精度:±5μm
    定位精度:8μm
    有效行程:100 - 500mm
    最高速度:300mm/s
    最大負(fù)載:8kg

    Tips:絲桿直線模組行程超過(guò)750mm時(shí),會(huì)產(chǎn)生螺桿偏擺,此時(shí)請(qǐng)將降低速度,詳情參數(shù)及選型建議咨詢業(yè)務(wù)人員。

運(yùn)動(dòng)平臺(tái)特點(diǎn)

  • 微米級(jí)重復(fù)定位精度;

  • 性價(jià)比優(yōu)勢(shì)明顯;

  • 組裝行程靈活;

  • 直線電機(jī)驅(qū)動(dòng),大理石基座支撐;

  • 可選光柵尺編碼反饋和電氣控制系統(tǒng)。


運(yùn)動(dòng)平臺(tái)參數(shù)

 規(guī)格 \ 軸向 X軸Y軸Z軸
重復(fù)定位精度±5μm±5μm±6μm
定位精度8μm8μm15μm
有效行程100 - 500mm100 - 500mm100 - 300mm
最高速度300mm/s300mm/s200mm/s
平面度00級(jí)
最大加速度0.5G1G
最大負(fù)載8kg

注意:以上參數(shù)僅做為選型參數(shù)使用,最終參數(shù)以出廠產(chǎn)品為準(zhǔn)。以上定位精度在實(shí)驗(yàn)環(huán)境下激光干涉儀補(bǔ)償后測(cè)得。


運(yùn)動(dòng)平臺(tái)圖片

大理石三軸運(yùn)動(dòng)平臺(tái)