XY精密對位平臺

• 一般環(huán)境使用

• 一款高精密XY位移平臺，高運動精度和穩(wěn)定性。非接觸式光學(xué)編碼器以極高的精度直接在平臺上測量位置，可選中空設(shè)計。采用UP級交叉滾子導(dǎo)軌，具有高負(fù)載能力、長使用壽命、使用免保養(yǎng)和高導(dǎo)向精度等多種特點?？膳銻軸旋轉(zhuǎn)軸，多應(yīng)用于晶圓檢測、電子顯微鏡平臺、LCD封裝檢測、透鏡激光熔覆加工等。

• 產(chǎn)品參數(shù)

  單向重復(fù)定位精度：0.4μm
  雙向重復(fù)定位精度：±2μm
  有效行程：102mm × 102mm
  直線度 / 平面度：±2μm
  最小位移：0.4μm

  Tips：絲桿直線模組行程超過750mm時，會產(chǎn)生螺桿偏擺，此時請將降低速度，詳情參數(shù)及選型建議咨詢業(yè)務(wù)人員。